溫度首先應(yīng)服從工藝要求，當(dāng)工藝無要求時(shí)應(yīng)考慮人的舒適性要求。工藝要求主要有以下這種恒溫要求
溫度波動一般< 1℃的算恒溫，但溫度最大波動范圍不大于2°c的也可稱恒溫， 例如22°C士2°C即表明波動范圍最低不得低于20°C，最高不得高于24℃，可以按恒溫考慮。有的書中寫成22士5°C，這是不了解什么是恒溫，允許變化5°C絕不是恒定溫度了。
恒溫包括室溫波動范圍，即控制點(diǎn)或參考點(diǎn)的溫度或設(shè)定的恒溫參數(shù)在24h內(nèi)的波動范圍；還包括區(qū)域溫差，即工作區(qū)平面內(nèi)最大兩點(diǎn)溫度差別。
圖5-1是工作區(qū)溫度波動范圍統(tǒng)計(jì)曲線，是按各測點(diǎn)的各次溫度中偏離控制點(diǎn)溫度的最大值占測點(diǎn)總數(shù)百分比整理而成的。
圖5-2是工作區(qū)區(qū)域溫差統(tǒng)計(jì)曲線，是按各測點(diǎn)中最低溫度與各點(diǎn)平均溫度的偏差點(diǎn)占測點(diǎn)總數(shù)百分比整理而成的。
要求90%以上測點(diǎn)所達(dá)到的偏差值為波動范圍或區(qū)域溫差，對以上兩圖有：
室內(nèi)工藝 室溫波動范圍/ t： 區(qū)域溫差/X：
無設(shè)備熱源 < 士0.4 <士0.3
1.5kW 設(shè)備熱源 < 士0.5 <士0.4
2.5kW 設(shè)備熱源 < 士0.5 <士0.4
隨著技術(shù)的發(fā)展，潔凈室要求高精度恒溫的越來越多，例如用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的硅片，當(dāng)直徑為100mm時(shí)，溫度上升1°C就會引起0.24/im的線膨脹，所以必須有士 0.1°C的恒溫，同時(shí)要求溫度基數(shù)一般較低，因?yàn)闈崈羰覂?nèi)人穿的衣服較嚴(yán)密，容易出汗，汗水中的鈉對半導(dǎo)體制品影響大，這種車間不宜超過25°C。
所以在選擇空氣過濾器進(jìn)行空氣排風(fēng)及過濾上都要涉及到溫度控制的要求，希望這些信息能為您帶來一定的幫助！
GMP車間凈化
